TF-1200型等离子增强化学气相沉积系统滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处Crazy Balls,使样品能得到一个快速的升温速度BlackjackX 9- Ruby,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处Roadkill,使样品直接暴露在室温环境下Sweet Alchemy,得到快速的降温速率Speed Auto Roulette。并可选配气氛微调装置XmasPop Delight,可准确的控制反应腔体内部的气体压力DREAMS OF GOLD JACKPOT,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用ARC_Spring Festival,工艺重复性好Double Rainbow,对于石墨烯生长工艺非常合适Fire in the Hole xBomb,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验Dragon Train Chi Lin Wins。
更新时间:2025-05-28
产品型号:TF-1200-PECVD
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